MATTSON Thermal Products GmbH	Dornstadt
VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH	Dresden
VON ARDENNE Photovoltaik GmbH & Co KG	Dresden
OC OERLIKON Balzers AG	Balzers, Lichtenstein
Carl ZEISS SMT AG	Oberkochen
AIXTRON AG	Aachen
Leybold Optics Dresden GmbH	Dresden